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半導體氮氣柜

簡要描述:半導體氮氣柜適合半導體前端單晶硅制作過程中硅片及晶圓盒的存放,防止硅片的返顆粒,返霧現象; 由于普通的干燥存儲柜或者氮氣柜設計都為全封閉環境,且無自凈功能,故內部容易積聚大量灰塵,而這些灰塵極可能粘附在存儲品上。潔凈柜則適合存放需要避免灰塵污染的物品。

  • 產品型號:CIN
  • 廠商性質:生產廠家
  • 更新時間:2025-01-14
  • 訪  問  量:428

詳細介紹

品牌愛義信應用領域能源,電子,航天,汽車,電氣

產品特性:

1、4英寸超高亮數碼管顯示,可視距離30米,可加裝氮氣節約控制系統,可加裝報警系統。

2、無塵風機——采用進口無塵室專用FFU風機,鍍鋁鋅板材質,鋁合金葉輪,風速0.3-0.45m/s,噪音<=55dB。

3、雙面護網高效過濾器——過濾效率高99.99%@0.3um。

4、半導體氮氣柜采用模組化設計,溫濕度顯示器、控制系統、除塵系統及除靜電系統均能快速更換, 保養及維修簡便,大大提升維護效率。

5、配備氮氣節約裝置,系統會根據濕度設定值,自動切斷和打開氮氣供應,相比市場其他直充氮氣機型可節約70%氮氣消耗量。大程度降低使用成本。

6、半導體氮氣柜采用多點供氣系統。氮氣通過蜂窩孔沖入工作室,氮氣分布更加均勻。避免了普通單點供氣而產生的死點死角現象。

7、低能源綠色環保設計,不返潮、不發熱、不滴水、無任何噪音,產品通過ROSH等相關認證。


技術參數:

1、材質:雙鏡面304不銹鋼

2、外尺寸: 1300W*1836H*800Dmm

3、內尺寸: 1253W*1110H*650Dmm

4、除濕等級: 相對濕度可達到5%Rh以下 (配合充氮氣)

5、潔凈等級: ISO Class 2(百級) ISO Class 3(千級)

6、濕度顯示范圍: 0.1%RH-99.9%RH

7、濕度顯示范圍: -40℃-70.0℃(-9.9℃以下顯示不帶小數點)

8、溫濕度顯示器精度: 相對濕度±3%Rh,溫度±1℃




 

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